2.高精度伺服加工系統、4秒/成型、上下料時間6秒/片
3.BEX-500R單列式曝光機: 3.5~6.4秒/片、最大產能10000-25000片/天.
4.光罩&FILM底片可使用兼顧 MA5701-ML全自動非接觸式曝光機:
5.內附5段光罩盒、獨立的光學式Gap Sensor可迅速,精確設定光罩&基板間距、光學式Edge Sensor可精確對位而不接觸到基板端面
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公司基本资料信息
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2.高精度伺服加工系統、4秒/成型、上下料時間6秒/片
3.BEX-500R單列式曝光機: 3.5~6.4秒/片、最大產能10000-25000片/天.
4.光罩&FILM底片可使用兼顧 MA5701-ML全自動非接觸式曝光機:
5.內附5段光罩盒、獨立的光學式Gap Sensor可迅速,精確設定光罩&基板間距、光學式Edge Sensor可精確對位而不接觸到基板端面