玻璃面板黑色抛光布

贝达先选材料提供的SP系列精抛垫，通过场内、外实验室和客户的认证。获得极大肯定采用。产品适用于最终镜面抛光阶段，标准使用于各种晶圆制、IC制造、石英光罩、硬碟制造等。

本产品具有独特的抛光特性，表层聚氨酯微孔隙结构及底层特殊基材所组合而成的独特复合材特性，提供更快磨合的全面平坦性、而表层绝佳的研磨液流动性，有助於提高工件表面洁净度、降低表面粗糙度、以及降低橘皮、微刮伤等缺陷。

多空隙开放结构，提供抛光液绝佳之流动性，特别适合硅片舆三五族材料晶圆之精抛光。

具有耐酸碱特性，适用于低、中压制程，广泛用于晶圆之一次或二次研磨后之最终精抛光。