一、产品性能
◇高感度
◇高分辨率
◇对基板粘附性好
◇良好涂布性能
二、工艺
基板:ITO玻璃 (30Ω)
膜厚:1.62μm
前烘:100℃X 90sec. (热板)
曝光:宽曝光度
显影:0.8% KOH X 60sec.
后烘:120℃X 120sec. (热板)
蚀刻:HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 40℃
剥离:3.0% NaOH @ 50℃X 120sec
三、测试结果
测试条件
基板 :ITO玻璃
膜厚 :1.62um
前烘 :100℃ X 90sec.
曝光 :60-100 mJ/cm2
显影 :0.8% KOH X 60sec.
后烘 :120℃ X 90sec
剥离 :3.0% KOH @ 50℃ X 120sec.
测试项目 HN-003 Competitor
粘度(25℃,mpa.s) 50 50
涂布均匀性 5.08% 5.92%
曝光能量(mj/cm2) 80 95
侧向腐蚀 ( A ) <100 <100
分辨率 (μm) 5 5
剥离效果 OK OK