产品性能:
高感度
高分辨率
对基板粘附性好
良好涂布性能
推荐工艺:
基板 :ITO玻璃 (30Ω)
膜厚 :1.62μm
前烘 :100℃ X 90sec. (热板)
曝光 :宽曝光度
显影 :0.8% KOH X 60sec.
后烘 :120℃ X 120sec. (热板)
蚀刻 :HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 40℃
剥离 :3.0% NaOH @ 50℃ X 120sec.
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公司基本资料信息
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产品性能:
高感度
高分辨率
对基板粘附性好
良好涂布性能
推荐工艺:
基板 :ITO玻璃 (30Ω)
膜厚 :1.62μm
前烘 :100℃ X 90sec. (热板)
曝光 :宽曝光度
显影 :0.8% KOH X 60sec.
后烘 :120℃ X 120sec. (热板)
蚀刻 :HNO3:HCl:H2O = 4:23:73 @ 40℃
剥离 :3.0% NaOH @ 50℃ X 120sec.