真空式等离子处理系统CRF-VPO-8L-S
名称(Name)
真空式等离子处理系统
型号(Model)
CRF-VPO-8L-S
控制系统(Control system)
PLC+触摸屏
电源(Power supply)
380V/AC,50/60Hz,3kw
中频电源功率(MF Power)
600W/13.56MHz
容量(Volume)
80L(Option)
层数(Electrode of plies)
8(Option)
有效处理面积(Area)
400(L)*300(W)(Option)
气体通道(Gas)
两路工作气体可选: Ar、N2、CF4、O2
产品特点:超大处理空间,提升处理产能,采用PLC+触摸屏控制系统,有效控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数,满足客户的需求。
保养维修成本低,便于客户成本控制。
高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。
应用范围:主要适用于生物医疗行业,印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。